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基于動力學的超精密運動平臺集成設計方法及其實現技術研究

論文目錄
摘要第1-6頁
Abstract第6-11頁
1 緒論第11-21頁
  1.1 課題來源、背景和意義第11-12頁
  1.2 國內外研究現狀第12-18頁
  1.3 主要研究內容第18-19頁
  1.4 論文章節安排第19-21頁
2 支持超精密運動平臺詳細方案設計活動的集成設計方法第21-33頁
  2.1 引言第21頁
  2.2 超精密運動平臺詳細方案設計活動分析第21-25頁
  2.3 超精密運動平臺集成設計方法的功能需求分析第25-27頁
  2.4 基于動力學的超精密運動平臺集成設計框架第27-30頁
  2.5 使用集成設計框架的超精密運動平臺詳細方案設計流程第30-32頁
  2.6 本章小結第32-33頁
3 集成設計軟件實現的關鍵技術與原型系統開發第33-65頁
  3.1 引言第33頁
  3.2 集成設計軟件總體架構第33-35頁
  3.3 基于模型原語和模板庫的模型統一表達、編輯和轉換機制第35-46頁
  3.4 模型模板的封裝方法第46-47頁
  3.5 集成設計軟件原型系統開發第47-64頁
  3.6 本章小結第64-65頁
4 超精密運動平臺關鍵組件等效建模方法抽象與模板封裝第65-129頁
  4.1 引言第65頁
  4.2 關鍵組件等效建模方法抽象流程和模板庫結構第65-68頁
  4.3 典型結構構型方案模塊化動力學建模方法與結構構型設計工具第68-85頁
  4.4 氣浮支承參數化等效動力學建模方法與模板庫第85-96頁
  4.5 考慮結構振動影響的干涉儀測量系統模型與模板庫第96-103頁
  4.6 隔振裝置及其核心元件等效動力學建模方法與模板庫第103-127頁
  4.7 本章小結第127-129頁
5 超精密運動平臺集成設計軟件的應用驗證第129-158頁
  5.1 引言第129頁
  5.2 光刻機與工件臺結構第129-131頁
  5.3 超精密運動平臺動態精度影響因素分析第131-147頁
  5.4 工件臺機械系統動力學建模與運動控制方案設計仿真第147-155頁
  5.5 集成設計軟件在工件臺現場測試數據分析中的應用第155-156頁
  5.6 本章小結第156-158頁
6 總結與展望第158-162頁
  6.1 全文總結第158-159頁
  6.2 創新點第159-160頁
  6.3 研究展望第160-162頁
致謝第162-163頁
參考文獻第163-173頁
附錄1 作者在攻讀博士學位期間取得的學術成果第173-174頁

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